銅被膜形成剤及び銅被膜の形成方法

摘要

本発明は、１〜３個の窒素原子を有する５員又は６員の含窒素複素環式化合物と蟻酸銅からなる銅錯体を含有し、前記含窒素複素環式化合物が１個又は２個の環構造を有し、置換基に含まれる炭素原子の総数が１〜５であり、該化合物中の炭素原子以外の元素が水素原子と結合していない銅被膜形成剤である。