硅熔液的搬运部件和硅熔液的搬运方法

摘要

本发明提供一种在作为半导体元件或太阳能电池的原料使用的高纯度硅的制造中，不需要加热设备的简便的硅熔液的搬运部件和输送方法。硅熔液的搬运部件由热容量极小的角型材料或圆筒形状部件构成，由热容量的极小绝热材料保护其周边，搬运部件的热容量的合计为13000(J/Kg)以下。使用该搬运部件，以流量为50(Kg/min)以上且流速为0.1(m/sec)以上搬运硅熔液。

主权项

一种硅熔液的搬运部件，其特征在于：具有与在冶金法的各工序中精制处理的硅熔液直接接触的流通路径部，使所述硅熔液从一侧向另一侧流通，所述流通路径部与所述硅熔液接触的面相反侧的面由绝热材料覆盖，位于所述绝热材料中的距离流通路径部30mm以内的部分的热容量和所述流通路径部的热容量的合计为13000 J/K以下，在所述流通路径部不设置加热设备。