ウェハーの研磨装置及びウェハーの研磨方法

摘要

本発明のウェハーの研磨装置は、定盤と、前記定盤上に配置され、複数の固定研磨粒子を含む研磨パッドと、前記研磨パッド上に配置されるヘッド部と、前記ヘッド部の外周部に装着されるリテーナと、前記リテーナの下端に装着され、環状を有するドレッシング部とを含む。【選択図】図１