| 摘要 |
Przedmiotem wynalazku jest elektrodowy nanosensor biochemiczny przeznaczony zwłaszcza do pomiarów w roztworach oraz sposób wytwarzania elektrodowego nanosensora biochemicznego za pomocą zogniskowanej wiązki jonów (FIB). Nanosensor ma dielektryczne podłoże (1), przy krawędzi którego znajduje się pole kontaktowe (2), do którego przyłączony jest z jednej strony drut (3) łączący go z zewnętrznym źródłem zasilania, a z drugiej strony pole (2) jest połączone z co najmniej jedną elektrodą (4). Elektroda (4) połączona jest z metalową mikrościeżką (5), na końcu której znajduje się co najmniej jedna metalowa nanoelektroda (6) o odsłoniętej powierzchni poprzecznej. Sposób wytwarzania nanosensora jest dwuetapowy. W pierwszym etapie, na powierzchni podłoża (1), określa się obszar pola kontaktowego (2) i pokrywa się go warstwą przewodzącą prąd. Następnie z jednej strony do pola tego mocuje się drut (3) łączący go z zewnętrznym źródłem prądu, a z drugiej strony pole łączy się z obszarem co najmniej jednego paska elektrody (4) i pokrywa się obszar ten warstwą przewodzącą. W drugim etapie, za pomocą zogniskowanej wiązki jonów galu (Ga+) od końca paska elektrody prowadzi się metalową mikrościeżkę (5) i na jej końcu wykonuje się co najmniej jedną nanoelektrodę (6). Następnie, w tym samym urządzeniu, na nanoelektrodę i mikrościeżkę nakłada się warstwę dielektryczną (7), w której nad obszarem nanoelektrody wykonuje się mikrozagłębienie (8) odsłaniające przekrój poprzeczny tej nanoelektrody umożliwiający jej kontakt z badanym roztworem. |
