用以控制测试器之半导体检验装置;SEMICONDUCTOR TEST APPARATUS FOR CONTROLLING TESTER

摘要

本发明旨在提供一种用以控制检验器之半导体检验装置。 其中，检验器命令产生部（97），根据使用者程式之命令，产生对连接检验器之复数元件之端子的检验器命令，由命令记忆部（95）记忆。传送方式设定部（99），根据命令记忆部（95）内之检验器命令之个数或使用者程式之命令，设定传送方式为逐次传送方式或一并传送方式其中之一。传送控制部（98），按照设定之传送方式，朝检验器发送命令记忆部（95）内之检验器命令。