薄板状工件的黏附保持方法及薄板状工件的黏附保持装置以及制造系统

摘要

本发明之课题在于：将薄板状工件毫无破损地黏附保持来校正薄板状工件的自重挠曲。于被支撑构件(1)支撑一部份之薄板状工件(W)上，向与薄板状工件(W)交叉之方向靠近移动黏附机构(2)直到其黏附面(2a)的一部份相对因其自重向下方挠曲变形之非支撑部位(W1)接触，使黏附面(2a)的一部份与非支撑部位(W1)的表面轻触，在进行黏附面(2a)的一部份与非支撑部位(W1)的表面的局部黏附之时刻，停止黏附机构(2)的靠近移动，之后，使黏附面(2a)相对非支撑部位(W1)触碰的同时移动，使黏附面(2a)与非支撑部位(W1)的接触面积逐渐增大。藉此，黏附面(2a)仿效非支撑部位(W1)的自重挠曲并隔着时间差逐渐局部接触，随此将相对于薄板状工件(W)之外在负载抑制得非常小，并且，黏附面(2a)的大致整体与非支撑部位(W1)接触而被黏附保持。之后，在黏附面(2a)的大致整体与非支撑部位(W1)的表面接触之时刻，使黏附机构(2)向前述靠近移动的相反方向移动至黏附面(2a)与薄板状工件(W)中被支撑;构件(1)支撑之支撑部位(W2)成为同一平面之位置。藉此，非支撑部位(W1)的自重挠曲减少，整个薄板状工件(W)被黏附保持成平面状。

主权项

一种薄板状工件的黏附保持方法，其特征在于：对于藉由支撑构件支撑其一部份之薄板状工件，向与前述薄板状工件交叉之方向靠近移动黏附机构直到其黏附面的一部份相对不被该支撑构件支撑之非支撑部位接触，使前述黏附面的一部份与前述非支撑部位的表面触碰；在进行前述黏附面的一部份与前述非支撑部位的表面的局部黏附之时刻，停止前述黏附机构的靠近移动；之后，使前述黏附面相对前述非支撑部位触碰的同时移动，使前述黏附面与前述非支撑部位的接触面积逐渐增大；在前述黏附面的大致整体与前述非支撑部位的表面接触之时刻，使前述黏附机构向前述靠近移动的相反方向移动至前述黏附面与前述薄板状工件中被前述支撑构件支撑之支撑部位成为同一平面之位置。