区域分类装置、基板检查装置及区域分类方法

摘要

本发明之课题在于改善多层基板之电路图案之检查精度。区域分类装置包括：区域抽出部，其根据将分别形成有电路图案之复数个基板积层之多层基板之设计资料，抽出该多层基板中之注目层之基板之注目区域；网路表生成部，其分别生成表示注目区域之导电性之有无为依照设计之注目层之电路图案与连接孔之电性连接关系的第1网路表、及表示注目区域之导电性之有无脱离了设计之情形之注目层之电路图案与连接孔之电性连接关系的第2网路表；以及区域分类部，其于第1网路表与第2网路表之间有特定之差异之情形时，将注目区域分类为检查中之重要区域，于无该特定之差异之情形时，将注目区域分类为重要性比重要区域低之非重要区域。

主权项

一种区域分类装置，其包括：区域抽出部，其根据将分别形成有电路图案之复数个基板积层之多层基板之设计资料，于与该基板对应之设计图像中抽出该多层基板中之注目层之基板之注目区域；网路表生成部，其分别生成上述注目区域之导电性之有无为依照设计之情形之第1网路表、及上述注目区域之导电性之有无脱离了设计之情形之第2网路表，来作为表示将不同之层间之电路图案彼此电性连接之连接孔与上述注目层之电路图案的电性连接关系之资料；及区域分类部，其于上述第1网路表与上述第2网路表之间有特定之差异之情形时，将上述注目区域分类为检查中之重要区域，于无上述特定之差异之情形时，将上述注目区域分类为重要性比上述重要区域低之非重要区域。