具有空乏层之玻璃以及建置于其上之多晶矽薄膜电晶体;GLASS WITH DEPLETED LAYER AND POLYCRYSTALLINE-SILICON TFT BUILT THEREON

摘要

本文揭示一种化学处理显示玻璃基板之方法，该方法藉由使用含有HCl之经加热溶液处理玻璃基板之至少一个表面以在玻璃基板之表面处及表面下方形成空乏层。本揭示案亦系关于含有藉由揭示之制程制成之空乏层的显示玻璃基板。另外，本揭示案系关于藉由直接在玻璃基板之经化学处理表面上沉积Si层且对该Si层进行退火以形成多晶矽而在此等显示玻璃基板上制造薄膜电晶体(「TFT」)之方法。