用于欲处理之平坦材料之湿式化学处理的装置及方法;DEVICE AND METHOD FOR THE WET-CHEMICAL TREATMENT OF FLAT MATERIAL TO BE TREATED

摘要

本发明系关于用于水平通过系统之欲处理之平坦材料(8)之湿式化学处理的装置，其具有使用第一液体处理该欲处理材料(8)之第一处理模组(2、3、6)及使用第二液体处理该欲处理材料(8)之第二处理模组(5、7)。提供贮存(back-up)构件(22a、22b、22c、36、38、48、58)以将该第一液体贮存在该第一处理模组(2、3、6)之第一处理区(11、17、41)中且将该第二液体贮存在该第二处理模组(5、7)之第二处理区(31、51)中。藉助运输配置(16)将该欲处理材料运输通过该装置，其中该运输配置(16)直接在该第一处理区(11、17、41)与该第二处理区(31、51)之间转移该欲处理材料(8)。