用于有机材料之蒸发器

摘要

本发明描述一种用于汽化有机材料之蒸发器。该蒸发器包括一第一腔室，其具有经调适以导向欲涂布之基板的一喷嘴；至少一个第二腔室，用于汽化有机材料；至少一个蒸汽通道，用于将已汽化之有机材料自该至少一个第二腔室导引至该第一腔室；其中该第一腔室经调适以将已汽化之有机材料提供给该喷嘴，该喷嘴对应于第一有效昇华表面，且该至少一个第二腔室经调适以在操作期间提供一第二昇华表面区域，其中该第二昇华表面区域相当于该第一有效昇华表面的至少70%。

主权项

一种用于汽化有机材料之蒸发器，包含：一第一腔室，具有一喷嘴，该喷嘴经调适以导向一欲涂布之基板；至少一个第二腔室，用于汽化该有机材料；至少一个蒸汽通道，用于将该已汽化之有机材料自该至少一个第二腔室导引至该第一腔室；其中该第一腔室经调适以将该已汽化之有机材料提供给该喷嘴，该喷嘴对应至一第一有效昇华表面，且该至少一个第二腔室的一或多个腔室经调适以在操作期间提供一组合的第二昇华表面区域，其中该组合的第二昇华表面区域相当于该第一有效昇华表面的至少70%。