发明名称 |
用于复制奈米图案之树脂组成物及使用彼之复制方法;A RESIN COMPOSITION FOR REPLICATION OF NANO PATTERNS AND THE REPLICATION METHOD USING IT |
摘要 |
本发明提供一种用于复制奈米图案之树脂组成物,其具有优越复制能力及脱模性。本树脂组成物解决在该NIL法之图案复制步骤中当该涂覆组成物与塑模碟直接接触时所发生之问题。另外,本发明提供一种使用此树脂组成物在基材上复制奈米图案之方法。本方法可使用多种UV波长及涂覆方法在不同基材上复制精细图案。本发明提供一种用于复制奈米图案之树脂组成物,其包含i)13至14重量%之聚胺基甲酸酯丙烯酸酯、ii)82至85重量%之胺基甲酸酯丙烯酸酯单体及1至4重量%之光引发剂,且其黏度是5至200cp。 |
申请公布号 |
TW201500438 |
申请公布日期 |
2015.01.01 |
申请号 |
TW103105289 |
申请日期 |
2014.02.18 |
申请人 |
荣昌化工股份有限公司 |
发明人 |
李昇勋;李昇炫;咸庆国 |
分类号 |
C08L33/14(2006.01);C08L75/14(2006.01);C08L83/00(2006.01);C09D133/14(2006.01);B29C59/16(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
C08L33/14(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
林志刚 |
主权项 |
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地址 |
南韩 |