电晶体及显示装置

摘要

提供一种电晶体，具有有利的电气特性和高可靠性，及包括该电晶体之显示装置。该电晶体为底闸电晶体使用用于通道区之氧化物半导体而予形成。历经经由热处理之脱水或脱氢的氧化物半导体层被用做活动层。该活动层包括微晶化表面部分之第一区及其余部分之第二区。经由使用具有该等结构之该氧化物半导体层，改变为n型，归因于湿气进入该表面部分，或氧从该表面部分排除，并可抑制寄生通道之产生。此外，并可减少该氧化物半导体层与源极及汲极电极之间的接触电阻。

主权项

一种电晶体，包含：闸极电极层；该闸极电极层上之闸极绝缘层；该闸极绝缘层上之氧化物半导体层；该氧化物半导体层上之源极电极层及汲极电极层；及该源极电极层及该汲极电极层上之氧化物绝缘层，且在该氧化物半导体层上并与其接触，其中该氧化物半导体层包含表面部分之第一区及其余部分之第二区，其中，该第一区包含垂直于该氧化物半导体层之表面方向之c轴取向之微晶，及其中该氧化物半导体层之该第二区为非结晶，或由非结晶及微晶之混合物所形成，或由微晶所形成。