微影光罩、微影装置及方法

摘要

一种微影光罩，其具有实质上透射某一波长之辐射之一基板，该基板具有呈一图案之一辐射吸收材料，该图案经组态以将一另外图案施加至该某一波长之一辐射光束之一横截面，其中该辐射吸收材料具有实质上等于该某一波长除以该辐射吸收材料之一折射率之一厚度。

主权项

一种微影光罩，其包含实质上透射特定波长之辐射之一基板，该基板具有呈一图案之一辐射吸收材料，该图案经组态以将一另外图案施加至该特定波长之一辐射光束之一横截面，其中该辐射吸收材料具有实质上等于该特定波长除以该辐射吸收材料之一折射率之一厚度。