测试装置

摘要

本发明提供一种测试装置，其防止过剩的电流流入至被测试元件。上述测试装置是对被测试元件进行测试的测试装置，且包括：电源部，产生供给至上述被测试元件的电源电压；电感负载部，设置于自上述电源部至上述被测试元件的路径上；第1半导体开关，与上述被测试元件并联地连接于上述电感负载部；以及控制部，当将对于上述被测试元件的电源电压的供给予以阻断时，使上述第1半导体开关接通。

主权项

一种测试装置，对被测试元件进行测试，该测试装置包括：电源部，产生供给至上述被测试元件的电源电压；电感负载部，设置于自上述电源部至上述被测试元件的路径上；第1半导体开关，设置于自上述电感负载部至上述被测试元件的路径上且与上述被测试元件并联地连接；控制部，当将对于上述被测试元件的电源电压的供给予以阻断时，使上述第1半导体开关接通；以及第2半导体开关，设置于上述电源部以及上述电感负载部之间，当将对于上述被测试元件的电源电压的供给予以阻断时，上述控制部于使上述第2半导体开关断开之后，使上述第1半导体开关接通。