微波表面波电浆装置;MICROWAVE SURFACE-WAVE PLASMA DEVICE

摘要

本发明揭露一种具有电力传输元件之处理系统，电力传输元件具有内腔体，电力传输元件将电磁能量传播至内腔体中的连续缝隙附近。连续缝隙形成内腔体与基板处理腔室之间的开口。电磁能量可在连续缝隙中产生交流电荷，而能产生可传播至处理腔室中的电场。电场可与处理腔室中的处理气体互相作用，以产生用于处理基板之电浆。内腔体可藉由覆盖连续缝隙之介电元件而与处理腔室隔开。电力传输元件（无论其本身或与其他电浆源组合）可用以控制处理腔室内的电浆密度。