照明光学装置、曝光装置以及元件制造方法

摘要

本发明提供一种照明光学装置，即便使用转向镜系统来改变形成于照明光瞳面上的光强度分布的外形形状，亦可以大致维持预期的轮廓。根据来自光源(1)的光来对被照射面(M)进行照明的本发明的照明光学装置包括：棱镜系统(6)，用以改变一对棱镜(6a、6b)在光轴(AX)上的间隔，以改变照明光瞳面(8a)中之光强度分布；以及1个或多个可动透镜(4b)，配置于棱镜系统与被照射面之间的光路中，并根据一对棱镜在光轴上的间隔的变化而可以在光轴方向上移动。

主权项

一种照明光学装置，用于以光照明规定图案而用于曝光装置中，此曝光装置通过投影光学系统以来自上述规定图案的上述光对基板进行曝光，上述照明光学装置的特征在于包括：光学积分器，位于上述光的光路上，第1光学系统，包括配置于上述光学积分器的入射侧的光路的第1透镜群以及第2透镜群，所述第1透镜群在上述第1光学系统的光瞳面上形成规定形状的第1光强度分布，上述第2透镜群将来自上述光瞳面的光聚光于上述光路的规定面；第2光学系统，配置于上述规定面与上述光学积分器之间的光路，上述第2光学系统藉由来自上述规定面的光在上述光学积分器的入射面上形成第2光强度分布，上述第2光强度分布具有与上述第1光强度分布相似的形状，其中，上述第2透镜群与上述第2光学系统中的至少其中一者包含一个或多个可动透镜，上述一个或多个可动透镜在与上述照明光学装置的光轴实质上平行的方向上能够移动，以调整上述第1光学系统的上述光瞳面与上述光学积分器的上述入射面之间的光学共轭关系。