制造三甲矽烷基胺的方法;PROCESS FOR MAKING TRISILYLAMINE

摘要

在此描述的方法提供一种制备三甲矽烷基胺的方法。在一态样中，该方法包含：将三甲矽烷基胺及单氯矽烷的反应混合物供应至反应器中，其中该反应混合物系处于足以提供于液相中的三甲矽烷基胺的温度和压力下，其中该反应混合物实质上不含外加溶剂；使该反应混合物与氨接触以提供包含三甲矽烷基胺及氯化铵固体的粗制混合物，其中单氯矽烷系相对于氨化学计量过量；将该粗制混合物纯化以提供三甲矽烷基胺，其中该三甲矽烷基胺系于90%或更高的纯度水准下制造；及从该反应器任意地移除该氯化铵固体。; contacting the reaction mixture with ammonia to provide a crude mixture comprising trisilylamine and an ammonium chloride solid wherein monochlorosilane is in stoichiometric excess in relation to ammonia; purifiying the crude mixture to provide trisilylamine wherein the trisilyamine is produced at purity level of 90% or greater; and optionally removing the ammonium chloride solid from the reactor.