装设在探针测试装置之增强板、其制造方法、与探针测试装置

摘要

本发明提供一种增强板、增强板的制造方法、与探针测试装置，上述增强板是装设在一探针测试装置中，该增强板包括一基板、多个第一导电线路、多个固定胶层、多个导电垫片、与一第一绝缘层。其中，于基板上设有多个第一穿孔，且第一导电线路是位于第一穿孔中。固定胶层是分布于第一导电线路与第一穿孔的孔壁间，而导电垫片是分布于基板二侧的表面上，且导电垫片与第一导电线路电性连接。另外，第一绝缘层涂布于基板二侧的表面上，且于第一绝缘层上开设有多个接触窗，该接触窗裸露出导电垫片。其中，基板的材质为一可加工材料。

主权项

一种装设在探针测试装置之增强板的制造方法，包括：(a)提供一基板，该基板的材质为可加工绝缘材质；(b)于该基板上开设多个第一穿孔；(c)提供多个第一导电线路，该第一导电线路是贯穿该第一穿孔；(d)涂布一固定胶于该基板上，且该第一导电线路与该第一穿孔之间的空隙被该固定胶所填充；(e)进行表面研磨，使该固定胶的表面与该第一导电线路的表面平齐于该基板的表面；(f)形成多个导电垫片，该导电垫片是与该第一导电线路电性连接；(g)于该基板二侧的表面上分别形成一第一绝缘层；及(h)于该第一绝缘层上开设有多个接触窗，该接触窗裸露出该导电垫片；其中于(f)步骤与(g)步骤间更包括下述的步骤：(1)于该基板上开设多个第二穿孔；(2)提供多个第二导电线路，该第二导电线路是贯穿该第二穿孔，且该第二导电线路的表面是平齐于该基板的表面；及(3)于该基板的表面上形成一第三导电线路，该第三导电线路包括多个网格，每一网格是围绕着其中一该导电垫片，且该第三导电线路是与该第二导电线路电性连接；其中，该第二导电线路或该第三导电线路是与接地端连接。