量测系统与量测方法

摘要

一种量测系统，用以量测一待测物之一孔洞，包括：一光源产生单元，用以产生一光源，并且沿着该孔洞之高度轴方向将该光源分别对焦至不同高度之复数平面；一撷取单元，撷取从该等平面所产生散射出的复数影像；以及一处理单元，根据该等影像取得该等平面的孔洞边界，用以在每个该等平面的孔洞边界上取样不同方位角的影像强度，以便产生复数取样值，并且根据该等取样值和所对应的高度和方位角，建立该孔洞之侧壁影像。

主权项

一种量测方法，用以量测一基板之一孔洞，包括：沿着该孔洞之高度轴方向将一光源分别对焦至不同高度之复数平面；撷取从该等平面所产生散射出的复数影像；根据该等影像取得该等平面的孔洞边界；在每个该等平面的孔洞边界上取样不同方位角的影像强度，以便产生复数取样值；以及根据该等取样值和所对应的高度和方位角，建立该孔洞之侧壁影像。