半导体装置及其设计方法;SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF DESIGNING THE SAME

摘要

系发现到了存在有就算是形成假图案并施加OPC也无法得到如同设计值一般之测定值的半导体装置。能够得到在具有互为相异之形状的闸极图案之区域中而设置有与各闸极图案相对应的假图案之半导体装置。