基板处理装置

摘要

本发明旨在提供一种基板处理装置，可实现处理能力之提升，即使在故障发生时，亦可抑制装置整体作动率之降低。;在具有传递晶圆至载具C之送入送出臂B之基板送入区块后段侧，依序配置第1处理区块31、第2处理区块32与第3处理区块33。于基板送入区块设置：传递平台(21a 21b)，用以自该送入送出臂B传递晶圆至第1处理区块31；传递平台22，用以传递晶圆至第2处理区块；及传递平台23，用以传递晶圆至第3处理区块；且藉由第1直接运送机构A1将传递平台22上的晶圆直接运送至第2处理区块32，藉由第2直接运送机构A2将传递平台23上的晶圆直接运送至第3处理区块33。

主权项

一种基板处理装置，包含：基板送入区块，包含：容器载置部，载置有收纳基板之基板运送容器；及传递机构，用来对载置于该容器载置部之基板运送容器进行基板之传递；第1处理区块、第2处理区块及第3处理区块，系自该基板送入区块侧依序配置之处理区块，包含：复数处理单元，用以对基板进行处理；及基板运送机构，用以对于此等处理单元进行基板之传递；第1传递平台，用以藉由该传递机构将来自该基板运送容器之基板载置至该第1处理区块；第2传递平台，用以藉由该传递机构将来自该基板运送容器之基板载置至该第2处理区块；第3传递平台，用以藉由该传递机构将来自该基板运送容器之基板载置至该第3处理区块；第1直接运送机构，用以将来自该第二传递平台之基板直接运送至该第2处理区块；及第2直接运送机构，用以将来自第三传递平台之基板直接运送至该第3处理区块，其中该第1直接运送机构及该第2直接运送机构每一者系专用的运送机构，用以分别将基板直接且专门地运送至该第2处理区块及该第3处理区块。