预测性三维虚拟制造系统以及方法;PREDICTIVE 3-D VIRTUAL FABRICATION SYSTEM AND METHOD

摘要

本发明描述用于半导体装置结构之虚拟制造环境，所述虚拟制造环境包含使用虚拟度量量测资料来最佳化虚拟制造序列。此外，所述虚拟制造环境之校准是藉由比较自虚拟制造回合产生之虚拟度量资料与在实体制造环境中所执行之量测之子集来执行。另外，在本发明之虚拟制造环境中所进行之虚拟实验使用针对整合制程流程以及关注之设计空间之制程范围以及设计参数变化产生多个装置结构模型。