具有热一致性改善特色的晶圆舟盒;IMPROVED WAFER CARRIER HAVING THERMAL UNIFORMITY-ENHANCING FEATURES

摘要

一种晶圆舟盒(或称载具)装置，适用于一系统内，其中该系统是用于利用化学气相沉积方式将磊晶层生长在一或多片晶圆上，该晶圆载具装置包含一晶圆载具主体，系以一中心轴而对称配置，且包括垂直于该中心轴之一大致平坦的上表面及水平于该上表面之一平坦的下表面。至少一晶圆留置袋部系从该上表面凹陷于该晶圆载具主体内。每一该些容置袋部包括一底部表面及环绕该底部表面之一周缘壁面，该周缘壁面定义该晶圆留置袋部的一周围。至少一热控制特征包括形成于该晶圆载具主体中且由该晶圆载具主体之内表面所定义之一内空腔或空洞。