扫描头及运用此扫描头的扫描臂;SCAN HEAD AND SCAN ARM USING THE SAME

摘要

一种组装于一种离子布植机的扫描臂和其扫描头，其中扫描头包括一个外壳、一个轴组件、一个静电夹具、一个第一驱动机构以及一个第二驱动机构。外壳具有一条恒定中心线。轴组件穿过外壳的一个第一侧，并且具有一条扭转轴、相对于外壳呈固定的一个第一枢转点以及位于外壳之外的一个第一端。静电夹具固接于第一端上，并且适于固持一个工件。第一驱动机构适于驱动轴组件、静电夹具和工件相对于恒定中心线倾斜。第二驱动机构适于驱动轴组件、静电夹具和工件绕着扭转轴旋转。