具多面梳状电极之双轴微机电致动器

摘要

一种具多面梳状电极之双轴微机电致动器，包含：一第一半导体层其包含一具梳状电极之可动件、一具内梳状电极与外梳状电极之承载件及一具有梳状电极之固定件；一电性绝缘层；及一第二半导体层其设具一腔体供该可动件及承载件作平面外(out-of-plane)转动。该可动件系藉一第一组扭转枢纽安置在承载件上而且该承载件系藉一第二组扭转枢纽安置在该固定件上，以使该致动器形成一环架式(gimbaled)结构。该承载件之内梳状电极系与该可动件之梳状电极交错排列(interdigitate)以及该承载件之外梳状电极系与该固定件之梳状电极交错排列在由第一半导体层所界定之同一平面上以形成一水平梳状电极驱动致动器(in-plane comb-drive actuator)。该水平梳状电极驱动致动器可被控制以使该可动件能以该第一、二组扭转枢纽为转轴而产生双轴式振动。该第二半导体层可更包含梳状电极用以与承载件之外梳状电极垂直地交错排列以形成一垂直梳状电极驱动致动器(vertical comb-drive actuator)。结合该水平梳状电极驱动及垂直梳状电极驱动致动器，该可动件即能控制以进行双轴的光栅型式(raster pattern)扫描运动。

主权项

一种具多面梳状电极之双轴微机电致动器，系包括：一第一半导体层，具有：一可动件藉一第一对扭转枢纽连置于一承载件，具有一第一及一第二组之梳状电极设在一由该第一对扭转枢纽所界定之一第一转轴的相对边上；该承载件藉一第二对扭转枢纽连置于一固定件，具有一第三及一第四组之内梳状电极设在该第一转轴的相对边上，及一第五及一第六组之外梳状电极设在由该第二对扭转枢纽所界定之一第二转轴的相对边上，该承载件具有多个绝缘沟形成在该承载件内以使该可动件与该承载件电性绝缘；及该固定件内具有一第七及一第八组之梳状电极设在该第二转轴的相对边上；其中该第一及第二组梳状电极分别与该第三及第四组之内梳状电极交错排列在由该第一半导体层所所界定之同一平面中；该第五及第六组之外梳状电极分别与该第七及第八组梳状电极交错排列在由该第一半导体层所界定之同平面中；一第二半导体层具有一腔体，且未设该可动件；以及一电性绝缘层其系承载并隔离该第一半导体层及第二半导体层。