用于软微影之聚矽氧橡胶材料

摘要

本发明系关于一种聚矽氧橡胶状材料以及一种包含包括此材料之印记层(100；201)之印刷装置。此材料适合用于软微影，因其可于基质上获得具有在奈米范围内之尺寸之稳定特征，并且亦允许适应粗糙以及非平坦的基质表面。;本发明亦关于制造聚矽氧橡胶状材料以及印记层(100；201)之方法，以及其在微影方法中之用途。

主权项

一种制造用于印刷方法之经图案化印记层的方法，该印记层包含具有在7MPa至80MPa范围内之杨氏模数的聚矽氧橡胶状材料，该方法包括：提供一包括至少一官能性T分支及/或官能性Q分支(聚)矽氧烷前驱物之组合物，其中该至少一官能性T分支(聚)矽氧烷前驱物系选自由氢化物官能性T分支(聚)矽氧烷前驱物、乙烯基官能性T分支(聚)矽氧烷前驱物及其混合物组成之群组，及/或其中该至少一官能性Q分支(聚)矽氧烷前驱物系选自由氢化物官能性Q分支(聚)矽氧烷前驱物、乙烯基官能性Q分支(聚)矽氧烷前驱物及其混合物组成之群组；添加至少一官能线性聚矽氧烷至该组合物，其中该至少一官能线性聚矽氧烷系氢化物官能线性聚矽氧烷及乙烯基官能线性聚矽氧烷之混合物；在低于100℃之温度下培养该组合物，及在该聚矽氧橡胶状材料中配置图案。