超薄型全平面式感测装置;ULTRA-THIN SENSING DEVICE WITH FLAT CONTACT SURFACE

摘要

一种超薄型全平面式感测装置包含封装基板、中介结构、垂直电连接结构及感测晶片。中介结构位于封装基板上并包含连接垫以及电连接至连接垫及封装基板之第一焊垫之第二焊垫。垂直电连接结构位于中介结构上并包含电连接至连接垫之垂直导体。感测晶片位于垂直电连接结构上并包含晶片基板，以及形成于晶片基板上之感测元、感测电路元以及垂直贯通电极。感测元感测生物体之特征而获得感测信号，其被感测电路元处理而获得生物特征信号。生物特征信号透过垂直贯通电极、垂直导体及第二焊垫传输至第一焊垫。上述感测装置之制造方法亦一并提供。