用以减少机率效应之光源光罩最佳化

摘要

本文揭示一种用于改良一微影程序之电脑实施的方法，该微影程序用于使用一微影投影装置将一设计布局之一部分成像至一基板上，该方法包含定义一多变数成本函数，该多变数成本函数为该微影程序之一机率效应之一函数。

主权项

一种用于改良一微影程序之电脑实施的方法，该微影程序用于使用一微影投影装置将一设计布局(design layout)之一部分成像至一基板上，该方法包含：定义一多变数成本(cost)函数，该多变数成本函数为该微影程序之一机率效应(stochastic effect)之一函数，该机率效应为复数个设计变数之一函数，该复数个设计变数为该微影程序之特性；及藉由调整该等设计变数中之一或多者来重新组态该微影程序之该等特性中之一或多者直至满足一特定(certain)终止条件为止。