于三维虚拟制造环境中使用材料特定行爲参数之多蚀刻制程;MULTI-ETCH PROCESS USING MATERIAL-SPECIFIC BEHAVIORAL PARAMETERS IN 3-D VIRTUAL FABRICATION ENVIRONMENT

摘要

本发明描述针对半导体装置结构发展之虚拟制造环境。将使用材料特定行为参数之多蚀刻制程插入制程序列中，使多物理现象与多材料之蚀刻制程可利用适当的数值技术进行模拟。该多蚀刻制程步骤经由准确且逼真地获取广范围之蚀刻行为以及几何学资料，而于虚拟制造系统中依据表徵该蚀刻行为之少量的输入参数组，得以提供半实体性方法而使多材料蚀刻模型化。