具ＲＦＩＤ标签之测试元件之管理系统及方法

摘要

本发明提供一种具RFID标签之测试元件之管理系统及方法，包括至少一测试元件及一承载装置，测试元件放置于承载装置上，测试元件用以检测至少一晶圆之功能特性，于测试元件上具有一RFID标签，其中储存有测试元件之相关资讯；承载装置上则设有至少一环形天线及至少一RFID读取器，可感应RFID标签所发出之至少一无线射频讯号并接收，读取出测试元件之相关资讯。承载装置可为晶圆测试装置、运送推车或收纳柜，因此测试元件不论是在测试时、运送时或收回时皆可得到有效的控管。

主权项

一种具RFID标签之测试元件之管理系统，其系应用于半导体封装制程中，该管理系统包括：至少一测试元件，用以检测至少一晶圆之功能特性，于测试元件上具有一RFID标签，其中储存有该测试元件之相关资讯，该测试元件为探针卡、检测板或测试座；以及一测试机台，其上装载该测试元件，该测试机台一侧装设有一测试头，该测试头上设有连接环、至少一环形天线及至少一RFID读取器，在测试该晶圆时以感应该RFID标签所发出之至少一无线射频讯号并接收，读取出该测试元件之相关资讯，该相关资讯包括该测试元件之编号、针脚数目、匝线数目、针脚寿命、维修历史及拥有者。