使用电浆处理基板的方法与设备

摘要

用以控制对上电极之电子损失的方法与配置包含用以偏压上电极较负的技术与设备，以允许带电物种被捕获于电浆室内更长的时间段，藉以可以增加电浆密度。在上电极上之感应的RF信号系被整流，因而更负偏压该上电极。该整流之RF信号可以被放大，因而如有想要的话，将上电极驱动更负。

主权项

一种在电容耦合电浆处理系统中处理一基板的方法，该电容耦合电浆处理系统具有一电浆处理室及至少一上电极与一下电极，该基板在电浆处理时被安置在该下电极上，该方法包含：提供至少一第一RF信号给该下电极，该第一RF信号具有一第一RF频率，该第一RF信号耦接至该电浆处理室内之电浆，藉以在该上电极上感应一感应RF信号；降低或消除该感应RF信号的至少一正周期，以产生一整流RF信号，使得该整流RF信号系相对于该电浆较负偏压；及在该整流RF信号被提供至该上电极时，处理该基板。