具有扇风板的拉晶炉

摘要

本实用新型涉及半导体生产技术领域的设备，名称是有扇风板的拉晶炉，它具有架子，架子上安装有可摇摆的炉体，炉体内具有炉腔，所述的炉腔内具有扇风板，扇风板是上面具有转轴，下面是平面的结构，所述的炉腔顶部具有安装装置的挂鼻儿，所述的转轴就安装在挂鼻儿内，所述的扇风板是多个的，多个扇风板排列安装在炉腔顶部，这样的具有扇风板的拉晶炉可以使炉腔内部温度均匀、提高产品质量，所述的扇风板是多个的，多个扇风板排列安装在炉腔顶部，具有可以使炉腔内温度更均匀的优点。

主权项

具有扇风板的拉晶炉，包括架子，架子上安装有可摇摆的炉体，炉体内具有炉腔，其特征是：所述的炉腔内具有扇风板，扇风板是上面具有转轴，下面是平面的结构，所述的炉腔顶部具有安装装置的挂鼻儿，所述的转轴就安装在挂鼻儿内。