惯性微机电传感器的制造方法

摘要

本发明提供了一种惯性微机电传感器及其制造方法，该惯性微机电传感器，能够相对移动的主体和质量块，所述主体包括具有第一表面的第一主体和垂直并连接所述第一表面的第二主体，所述第一主体内具有平行于所述第一表面的第一电极，所述第二主体内具有垂直于所述第一表面的第二电极；所述质量块悬置在所述第二主体和第一主体形成的空间内，所述质量块包括平行且相对于所述第一表面的第三电极、垂直于所述第一表面的第四电极和质量层，所述第三电极和第四电极相连并构成U型凹槽，所述质量层填充于所述U型凹槽内，可以有效地提高惯性质量块的重量，提高惯性微机电传感器的精确度，并降低制造成本。

主权项

一种惯性微机电传感器的制造方法，所述的惯性微机电传感器包括能够相对移动的主体和质量块，所述主体包括具有第一表面的第一主体和垂直并连接所述第一表面的第二主体，所述第一主体内具有平行于所述第一表面的第一电极，所述第二主体内具有垂直于所述第一表面的第二电极，所述质量块悬置在所述第二主体和第一主体形成的空间内，所述质量块包括平行且相对于所述第一表面的第三电极、垂直于所述第一表面的第四电极和质量层，所述第三电极和第四电极相连并构成U型凹槽，所述质量层填充于所述U型凹槽内；所述的惯性微机电传感器的制造方法包括步骤：提供主体，所述主体包括相互垂直连接的第一主体和第二主体，第一主体具有第一表面，所述第一主体内具有平行于所述第一表面的第一电极，所述第二主体内具有垂直于第一表面的第二电极；在所述第一主体上形成牺牲层；在所述牺牲层上形成绝缘层，所述绝缘层和所述牺牲层构成U型凹槽；淀积形成覆盖所述牺牲层和绝缘层的导电层；在所述牺牲层上的导电层上形成质量层，所述质量层的顶部和所述绝缘层顶部的导电层齐平；去除所述绝缘层顶部的导电层和部分质量层，所述质量层的顶部和所述绝缘层顶部的导电层齐平；去除所述绝缘层；去除所述牺牲层。