| 发明名称 | 可聚合光产酸剂 | ||
| 摘要 | 可聚合光产酸剂。一种化合物，具有结构式(I)：Q-O-(A)-Z<sup>-</sup>G<sup>+</sup> (I)，其中Q是卤代或非卤代的含C<sub>2-30</sub>烯烃基团，A是氟代C<sub>1-30</sub>亚烷基、氟代C<sub>3-30</sub>亚环烷基、氟代C<sub>6-30</sub>亚芳基或氟代C<sub>7-30</sub>亚烷基-亚芳基，Z是包含磺酸盐、磺酰胺或磺酰亚胺的阴离子基团，以及G<sup>+</sup>具有结构式(II)：<img file="DSA00000684617800011.tif" wi="470" he="107" />其中X是S或I，每个R<sup>0</sup>是卤代或非卤代的并独立地为C<sub>1-30</sub>烷基、多环或单环C<sub>3-30</sub>环烷基、多环或单环C<sub>4-30</sub>芳基或包含前述至少一种的组合，其中当X是S时，所述R<sup>0</sup>基团中的一个任选地通过单键与一个相邻的R<sup>0</sup>基团连接，并且a是2或3，其中当X是I时，a是2，或者当X是S时，a是3。公开了共聚物、光致抗蚀剂、涂覆的基材和图案化方法。 | ||
| 申请公布号 | CN102603579B | 申请公布日期 | 2014.12.31 |
| 申请号 | CN201110463334.9 | 申请日期 | 2011.12.31 |
| 申请人 | 罗门哈斯电子材料有限公司;陶氏环球技术有限公司 | 发明人 | J·W·撒克里;S·M·科利;V·简恩;O·昂格伊;J·F·卡梅伦;P·J·拉博姆;A·E·麦德考尔 |
| 分类号 | C07C309/42(2006.01)I;C07C309/12(2006.01)I;C07C303/32(2006.01)I;C07C381/12(2006.01)I;C07C25/02(2006.01)I;C07D333/76(2006.01)I;C08F220/38(2006.01)I;C08F220/18(2006.01)I;C08F220/30(2006.01)I;C08F220/28(2006.01)I;C08F212/32(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I | 主分类号 | C07C309/42(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 陈哲锋 |
| 主权项 | 一种具有结构式(I)的化合物：Q‑O‑(A)‑Z<sup>‑</sup>G<sup>+</sup> (I)其中Q是卤代或非卤代的C<sub>2‑30</sub>烯烃基团，A是氟代C<sub>1‑30</sub>亚烷基、氟代C<sub>3‑30</sub>亚环烷基、氟代C<sub>6‑30</sub>亚芳基或氟代C<sub>7‑30</sub>亚烷基‑亚芳基，Z‑是磺酸盐，以及其中G<sup>+</sup>具有结构式(VI)：<img file="FDA0000531205850000011.GIF" wi="623" he="439" />其中R<sup>6</sup>、R<sup>7</sup>和R<sup>8</sup>各自独立地为羟基、腈基、卤素、C<sub>1‑10</sub>烷基、C<sub>1‑10</sub>氟烷基、C<sub>1‑10</sub>烷氧基、C<sub>1‑10</sub>氟烷氧基、C<sub>6‑20</sub>芳基、C<sub>6‑20</sub>氟芳基、C<sub>6‑20</sub>芳氧基、或C<sub>6‑20</sub>氟芳氧基r为0‑5的整数，s和t各自独立地为0‑4的整数。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||