发明名称 一种具有多重垒层LED外延结构
摘要 一种具有多重垒层LED外延结构,涉及发光二极管技术领域。本发明从下至上依次包括图形化衬底、AlN缓冲层、U型GaN层、N型GaN层、有源区、电子阻挡层和P型GaN层。其结构特点是,所述有源区包括阱层和多重垒层。多重垒层包括In<sub>X</sub>Ga<sub>1-X</sub>N层、GaN层和Al<sub>y</sub>Ga<sub>1-y</sub>N层三层。在生长蓝光LED过程中,生长有源区时,多重垒层和阱层交替生长。同现有技术相比,本发明采用多重垒层结构,通过改变垒层高度、提高晶体质量、释放应力,从而提高辐射复合几率达到增强LED出光效率的目的。
申请公布号 CN104253181A 申请公布日期 2014.12.31
申请号 CN201310257840.1 申请日期 2013.06.26
申请人 南通同方半导体有限公司;同方股份有限公司 发明人 田宇;郑建钦;曾颀尧;赖志豪;郭廷瑞;黄绣云;黄信智;张志刚;吴东海;童敬文;林政志;李鹏飞
分类号 H01L33/06(2010.01)I;H01L33/12(2010.01)I 主分类号 H01L33/06(2010.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种具有多重垒层LED外延结构,它从下至上依次包括图形化衬底(1)、AlN缓冲层(2)、U型GaN层(3)、N型GaN层(4)、有源区、电子阻挡层(7)和P型GaN层(8),其特征在于:所述有源区包括阱层(5)和多重垒层(60),多重垒层(60)包括In<sub>X</sub>Ga<sub>1‑X</sub>N层(601)、GaN层(602)和Al<sub>y</sub>Ga<sub>1‑y</sub>N层(603)三层,在生长蓝光LED过程中,生长有源区时,多重垒层(60)和阱层(5)交替生长。
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