| 发明名称 | 一种多晶硅生产废气回收氯硅烷的装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种多晶硅生产废气回收氯硅烷的装置，该装置由废气缓冲罐、尾气压缩机、压缩后缓冲罐、一级冷却器、二级冷却器、气液分离罐依次串联组装而成，所述气液分离罐顶端设置排气口，底端连接产品缓冲罐。本实用新型装置经过工业实际运行，废气中的氯硅烷回收率可以达到85%以上，具有较好的经济环保效益。 | ||
| 申请公布号 | CN204057978U | 申请公布日期 | 2014.12.31 |
| 申请号 | CN201420455449.2 | 申请日期 | 2014.08.13 |
| 申请人 | 谭德军 | 发明人 | 谭德军 |
| 分类号 | C01B33/107(2006.01)I | 主分类号 | C01B33/107(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人 | 汤东凤 |
| 主权项 | 一种多晶硅生产废气回收氯硅烷的装置，其特征在于，该装置由废气缓冲罐、尾气压缩机、压缩后缓冲罐、一级冷却器、二级冷却器、气液分离罐依次串联组装而成，所述气液分离罐顶端设置排气口，底端连接产品缓冲罐。 | ||
| 地址 | 430000 湖北省武汉市江汉区唐家墩路13-2号11楼4号 | ||