Beleuchtungsoptik für ein Metrologiesystem sowie Metrologiesystem mit einer derartigen Beleuchtungsoptik

摘要

Eine Beleuchtungsoptik (6) dient zur Beleuchtung von mittels eines Metrologiesystems (1) zu untersuchenden Objekten. Die Beleuchtungsoptik (6) hat eine optische Pupillenformungs-Baugruppe (21) zur Erzeugung einer definierten Verteilung von Beleuchtungswinkeln von Beleuchtungslicht (4) über ein Objektfeld (61), in dem ein zu untersuchendes Objekt (3) anordenbar ist. Der Pupillenformungs-Baugruppe (21) im Strahlengang des Beleuchtungslichts (4) nachgeordnet ist eine optische Feldformungs-Baugruppe (49) zur Erzeugung einer definierten Intensitätsverteilung des Beleuchtungslichts (4) über das Objektfeld (61). Die Feldformungs-Baugruppe (49) hat mindestens ein optisches Feldformungs-Element (50), das im Bereich einer Pupillenebene (43) der Beleuchtungsoptik (6) angeordnet ist. Es resultiert eine Beleuchtungsoptik, mit der eine hinsichtlich einer Intensitätsverteilung sowie einer Beleuchtungswinkelverteilung über das gesamte Objektfeld definiert einstellbare Beleuchtung gewährleistet ist.