Vakuumkammer einer Durchlauf-Substratbehandlungsanlage und Verfahren zu deren Betrieb

摘要

Die Erfindung betrifft eine Vakuumkammer einer Durchlauf-Substratbehandlungsanlage und ein Verfahren zum Betrieb einer solchen Anlage, wobei die Vakuumkammer eine Transportrollen 8 umfassende Transporteinrichtung zum Transportieren eines Substrats 6 in einer Substratebene 5 durch die Vakuumkammer und einen Vakuumzugang zur Evakuierung der Vakuumkammer umfasst. Um eine Verkürzung der Evakuierungszeit mit wartungsfreundlichen und variablen sowie nachrüstbaren Mittel zu erzielen, in der Vakuumkammer ein- oder beidseits der Substratebene 5 und benachbart zur Transporteinrichtung zumindest ein vakuumdichter Füllkörper 18 zur Reduzierung des zu evakuierenden Volumens angeordnet.