| 摘要 |
<p>웨이퍼 정렬 방법은 카메라를 이용하여 작업 테이블에 안착된 웨이퍼 및 노치의 화상을 인식하는 단계; 노치 포인트를 지정하는 단계; 기준선을 도출하는 단계; 기준선의 중심점을 지정하는 단계; 중심점으로부터 기준선을 기준으로 지시각을 갖는 가상선을 도출하는 단계; 가상선을 이용하여 웨이퍼의 중심선을 도출하는 단계; 및 작업 테이블의 정렬선과, 웨이퍼의 중심선이 일치되도록 정렬 장치를 이용하여 웨이퍼를 정렬하는 단계를 포함한다. 노치 포인트는, 노치의 제 1 입구점 및 노치의 제 2 입구점이고, 기준선은, 제 1 입구점 및 제 2 입구점을 가로지르는 직선이며, 중심점은, 제 1 입구점 및 제 2 입구점과 동일한 거리를 갖는 기준선 상의 일점이고, 가상선은, 중심점을 통과하고, 기준선을 기준으로 웨이퍼의 좌측 방향으로 지시각을 이루는 제 1 가상선 및 중심점을 통과하고, 기준선을 기준으로 웨이퍼의 우측 방향으로 지시각을 이루는 제 2 가상선이다.</p> |
