用晶体硅加工废砂浆回收硅粉制备氮化硅产品的机组

摘要

用晶体硅加工废砂浆回收硅粉制备氮化硅产品的机组，由气流床反应器1、氮气等离子体点火器13、压力控制器2、隧道窑3、窑车4、干燥机5、硅粉料仓6、硅粉气力输送器7、Si₃N₄气力输送器8、Si₃N₄料仓9、产品计量包装装置10、空分制氮装置11、自控系统12及相关配套管道、阀门、仪器仪表构成；其中的气流床反应器1、压力控制器2、隧道窑3、窑车4是本发明的核心或关键设备，其它为可以采用市场成熟技术配套的设备；以晶体硅加工废砂浆回收的硅粉和氮气为原料，以氮气为原料和热量输送载体，生产氮化硅微粉和氮化硅结合碳化硅陶瓷材料。

主权项

用晶体硅加工废砂浆回收硅粉制备氮化硅产品的机组，其特征在于：生产机组由气流床反应器、氮气等离子体点火器、压力控制器、隧道窑、窑车、干燥机、硅粉料仓、硅粉气力输送器、Si₃N₄气力输送器、Si₃N₄料仓、产品计量包装装置、空分制氮装置、自控系统及相关配套管道、阀门、仪器仪表构成；氮化硅微粉的合成是在机组的核心设备—气流床反应器内完成的；气流床工作压力0.2‑‑1.6MPa，高径比3‑‑10：1；氮化硅结合碳化硅陶瓷材料的反应烧结是在本机组的关键设备—隧道窑内完成的；隧道窑工作压力≤0.1MPa，工作截面积是气流床截面积的0.5‑‑4倍，长度是气流床高度5‑‑20倍；与配套的隧道窑窑车组合形成隧道式烧结通道；以晶体硅加工废砂浆回收的硅粉和氮气为原料，以氮气为输送载体，生产氮化硅微粉和氮化硅结合碳化硅陶瓷材料。