图案形成方法

摘要

一种图案形成方法。一种化学放大型抗蚀剂组合物，它包括基础树脂、产酸剂和溶剂。每100pbw的基础树脂存在1400-5000pbw的溶剂，且上述溶剂含有至少60wt％的PGMEA和乳酸乙酯以及0.2-20wt％的高沸点溶剂。通过在基材上涂敷抗蚀剂组合物、预烘烤、图案形式曝光、曝光后烘烤、显影和热处理来形成抗蚀剂图案。

主权项

一种形成图案的方法，其包括以下步骤：在可加工的基材上涂覆化学放大型抗蚀剂组合物，预烘烤涂层以移除其中的任何过量溶剂以形成抗蚀剂膜，通过高能辐射使抗蚀剂膜按图案形式曝光，任选进行曝光后烘烤，使用显影剂对曝光的抗蚀剂膜显影，显影后热处理，以形成抗蚀剂图案，所述显影剂是碱性水溶液形式的显影剂， 所述的化学放大型抗蚀剂组合物包括基础树脂、产酸剂和溶剂，其中当被高能辐射曝光时，在产酸剂产生的酸的作用下，上述组合物的抗蚀剂膜改变其在所述显影剂中的溶解性， 以每100重量份基础树脂计，存在的溶剂总量为1400‑5000重量份， 所述溶剂包括丙二醇单甲醚醋酸酯和乳酸乙酯，它们的总量占溶剂总重量的至少60wt％， 所述溶剂进一步包括至少一种选自由γ‑丁内酯、烷基乙酰醋酸酯、二丙二醇甲醚醋酸酯、二丙二醇丁基醚、三丙二醇丁基醚、碳酸亚乙酯和碳酸亚丙酯组成的组中的溶剂，其比例为溶剂总重量的0.2wt％‑20wt％， 其中显影后热处理步骤在不低于预烘烤步骤的温度和不低于曝光后烘烤步骤的温度的温度下进行，且其不会导致图案线宽的至少10％的改变。