| 发明名称 | 脆性材料基板的搬送方法及搬送装置 | ||
| 摘要 | 本申请的发明涉及一种脆性材料基板的搬送方法及搬送装置。本发明提供一种搬送方法及搬送装置，将具有在纵向及横向上整齐排列地形成的功能区域的基板断开，并分别将功能区域与其周围的边角材料的区域个别地安排搬送。利用第1搬送头(13)，以头部(30)吸附脆性材料基板(90)的部的功能区域并利用线性滑块(12)沿着梁(11)的方向搬送。利用第2搬送头(14)，以头部(50)安排吸附周围的边角材料的区域并利用线性滑块(12)沿着梁(11)的方向搬送。 | ||
| 申请公布号 | CN104249933A | 申请公布日期 | 2014.12.31 |
| 申请号 | CN201410067109.7 | 申请日期 | 2014.02.26 |
| 申请人 | 三星钻石工业股份有限公司 | 发明人 | 太田欣也;黑田直洋;岩坪佑磨;礒嶌聪 |
| 分类号 | B65G49/07(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | B65G49/07(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人 | 沈锦华 |
| 主权项 | 一种脆性材料基板的搬送方法，该搬送方法搬送如下脆性材料基板，即，在一个面具有在纵向及横向上以规定间距形成的功能区域，且沿着以使功能区域位于中心的方式形成为格子状的划线被断开，该搬送方法中，利用第1搬送头吸附并搬送所述脆性材料基板的形成为格子状的功能区域，利用第2搬送头吸附并搬送所述脆性材料基板的周边的边角材料的区域。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||