长晶炉的供气装置

摘要

本发明的长晶炉的供气装置，主要提供长晶炉一种能够有效降低杂质浓度，藉以提升晶体质量的供气装置；所述的供气装置包括有：一相对罩设于坩埚外围的绝热层、一设于绝热层上的输气管，以及若干设于绝热层的排气孔；其中，输气管的管口处设有一组可供调整角度的导流罩，使熔汤的自由表面得以同步接受导引气流的吹拂作用，而加速将杂质带离自由表面的速率，以有效降低杂质浓度，藉以提熔汤冷却固化后的晶体质量。

主权项

一种长晶炉的供气装置，包括有：一相对罩设于坩埚外围的绝热层、一设于绝热层上的输气管，以及若干设于绝热层的排气孔；其特征在于：该输气管的管口处设有一组可供调整角度的导流罩；其中，该导流罩在其罩体上平均布设有若干呈放射线状配置的轨道，另于各轨道与该输气管之间连接有拉杆，或设有若干铰链连接于该导流罩的罩体与该输气管的管体之间,其中，输气管与导流罩的夹角为80‑160度。