碱产生剂、感光性树脂组合物、含有该感光性树脂组合物的图案形成用材料、使用该感光性树脂组合物的图案形成方法以及物品

摘要

本发明提供一种高感度且可适用的范围较广的碱产生剂以及高分子前驱体在结构上可适用的选择范围较广的感光性树脂组合物，所述高分子前驱体是可通过碱性物质或通过碱性物质存在下的加热，其生成最终产物的反应得到促进的高分子前驱体。本发明的碱产生剂的特征在于，其以下述化学式(1)表示且通过电磁波照射和加热产生碱；本发明的感光性树脂组合物的特征在于，其含有所述碱产生剂和下述高分子前驱体，所述高分子前驱体为可通过所述碱产生剂和碱性物质或通过碱性物质存在下的加热，其生成最终产物的反应得到促进的高分子前驱体。化学式(1)式中的记号同说明书中的记载。

主权项

一种碱产生剂，其特征在于，其以下述化学式(1)表示且通过电磁波的照射和加热产生碱：化学式(1)化学式(1)中，R¹和R²分别独立地表示氢或烃基，可相同也可不同；R¹和R²可彼此键合而形成环状结构，可含有含杂原子的键，也可含有羟基；其中，R¹和R²中的至少1个是可含有含杂原子的键的烃基或可含有羟基的烃基；R³和R⁴分别独立地表示氢、碳数1～20的烷基、碳数4～23的环烷基、碳数4～23的环烯基、碳数7～26的芳氧基烷基、碳数7～20的芳烷基、碳数2～21的具有氰基的烷基、碳数1～20的具有羟基的烷基、碳数1～20的烷氧基、碳数2～21的酰胺基、碳数1～20的烷硫基、碳数1～20的酰基、碳数2～21的酯基、碳数6～20的芳基、取代有电子供应性基和/或电子吸引性基的碳数6～20的芳基或氰基，可相同也可不同；R⁵、R⁶、R⁷和R⁸分别独立地表示氢、卤素、羟基、巯基、硝基、亚硝基、碳数1～20的烷基、碳数4～23的环烷基、碳数4～23的环烯基、碳数7～26的芳氧基烷基、碳数7～20的芳烷基、碳数2～21的具有氰基的烷基、碳数1～20的具有羟基的烷基、碳数1～20的烷氧基、碳数2～21的酰胺基、碳数1～20的烷硫基、碳数1～20的酰基、碳数2～21的酯基、碳数6～20的芳基、取代有电子供应性基和/或电子吸引性基的碳数6～20的芳基、氰基或具有下式(5)表示的部分结构的基团，可相同也可不同；R⁵、R⁶、R⁷和R⁸中的2个以上可键合而形成环状结构，可含有含杂原子的键；R⁹为可通过加热和电磁波照射中的至少一种方法而脱保护的保护基，并且该R⁹为选自由下述式(2‑1)、式(2‑2)、式(2‑3)以及式(2‑6)所表示的有机基所组成的一组中的1种以上；式(5)式(5)中，R^c为碳数1～20的直链、支链或环状的饱和或不饱和脂肪族烃基、或芳香族烃基；R^d为氢、或者是饱和或不饱和烷基、饱和或不饱和环烷基、芳基、芳烷基及饱和或不饱和卤化烷基，n为1以上的整数，式(2‑1)中，R¹⁰、R¹¹、R¹²分别独立地表示氢、卤素原子或取代或未取代的烷基、烯丙基或芳基，R¹³为直链、支链或环状的饱和或不饱和烃基；直链、支链或环状的饱和或不饱和卤化烃基；芳香族基；在直链或支链的饱和或不饱和的烃骨架中含有醚键的基团、在直链或支链的饱和或不饱和的烃骨架中含有硫醚键的基团、在直链或支链的饱和或不饱和的烃骨架上键合氰基、甲硅烷基、硝基、乙酰基、乙酰氧基而成的基团，R¹⁰、R¹¹、R¹²、R¹³可分别互相键合而显示环状结构；式(2‑2)中，R¹⁴为叔丁基、苄基、9‑芴基甲基、2，2，2‑三氯乙基、烯丙基、对甲氧基苄基、1，1‑二氧杂苯并[b]噻吩‑2‑基甲基、2‑(4‑硝基苯基磺酰基)乙基、邻硝基苄基、烯丙氧基、2，2，2‑三氯乙氧基；式(2‑3)中，R¹⁵、R¹⁶、R¹⁷分别独立地表示氢、卤素原子、烷基或芳基；式(2‑6)中，R²⁰为苄基。