控制等离子体室内的离子能量

摘要

本发明涉及控制等离子体室内的离子能量，具体描述了控制等离子体室内的离子能量的系统和方法。所述系统之一包括耦合到正弦RF发生器用于接收正弦信号的上电极和用于产生非正弦信号的非正弦RF发生器。该系统进一步包括耦合到非正弦RF发生器的功率放大器。功率放大器用于放大非正弦信号以产生放大信号。该系统包括耦合到功率放大器的滤波器。滤波器用于利用滤波信号过滤放大信号以产生滤波后信号。该系统包括耦合到滤波器的卡盘。卡盘面向上电极的至少一部分且包括下电极。下电极用于接收滤波后信号以促使实现卡盘处的离子能量在下限阈值和上限阈值之间。

主权项

一种用于控制等离子体室内的离子能量的系统，其包括：用于产生正弦信号的正弦射频(RF)发生器；耦合到所述正弦RF发生器、用于接收所述正弦信号的上电极；用于产生非正弦信号的非正弦RF发生器；耦合到所述非正弦RF发生器的功率放大器，所述功率放大器用于放大所述非正弦信号以产生放大信号；耦合到所述功率放大器的滤波器，所述滤波器用于利用滤波信号过滤所述放大信号以产生滤波后信号；以及耦合到所述滤波器的卡盘，所述卡盘面向所述上电极的至少一部分，所述卡盘包括下电极，所述下电极用于接收所述滤波后信号以促使实现所述卡盘处的离子能量在下限阈值和上限阈值之间。