发明名称 Halbleiterbauelement und Verfahren zu dessen Herstellung
摘要 Ein Leistungshalbleiterbauelement enthält einen Halbleiterkörper (90) mit einer aktiven Zone (55) und einer Hochspannungsperipheriezone (50) seitlich beieinander, wobei die Hochspannungsperipheriezone (50) die aktive Zone (55) seitlich umgibt, eine Metallisierungsschicht (26) auf der vorderen Oberfläche des Halbleiterkörpers (90), mit der aktiven Zone (55) verbunden, eine erste Barrierenschicht (24), umfassend ein hochschmelzendes Metall oder eine hochschmelzende Legierung, zwischen der aktiven Zone (55) und der Metallisierungsschicht (26) angeordnet, eine zweite Barrierenschicht (25), die mindestens einen Teil der Peripheriezone (50) bedeckt, wobei die zweite Barrierenschicht (25) ein amorphes halbisolierendes Material umfasst, wobei die erste Barrierenschicht (24) und die zweite Barrierenschicht (25) teilweise überlappen und eine Überlappungszone (52) bilden, wobei sich die Überlappungszone über einen ganzen Umfang der aktiven Zone (55) erstreckt. Weiterhin wird ein Verfahren zum Herstellen eines derartigen Leistungshalbleiterbauelements bereitgestellt.
申请公布号 DE102014108986(A1) 申请公布日期 2014.12.31
申请号 DE201410108986 申请日期 2014.06.26
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 MÜLLER, MATTHIAS;SANTOS RODRIGUEZ, FRANCISCO JAVIER;SCHLÖGL, DANIEL;SCHMIDT, GERHARD
分类号 H01L29/06;H01L21/33;H01L21/336;H01L29/739;H01L29/78 主分类号 H01L29/06
代理机构 代理人
主权项
地址