一种减少多晶硅还原炉尾气中硅粉含量的装置

摘要

本实用新型提供一种减少多晶硅还原炉尾气中硅粉含量的装置，所述尾气包含硅粉、氢气、二氯二氢硅气体、三氯氢硅气体和四氯化硅气体，所述装置包括氯化氢气体提供单元，其通过氯化氢气体管道与还原炉尾气管道相连，用于在还原炉内的多晶硅棒生长后期向所述还原炉尾气管道中通入氯化氢气体，所述氯化氢气体能够与所述尾气中的硅粉发生反应生成氯硅烷气体和氢气从而减少所述尾气中硅粉的含量。本实用新型所述装置能简单、有效地减少进入下游工序的尾气中的硅粉含量。

主权项

一种减少多晶硅还原炉尾气中硅粉含量的装置，所述尾气包含硅粉、氢气、二氯二氢硅气体、三氯氢硅气体和四氯化硅气体，其特征在于，所述装置包括氯化氢气体提供单元，其通过氯化氢气体管道与还原炉尾气管道相连，用于在还原炉内的多晶硅棒生长后期向所述还原炉尾气管道中通入氯化氢气体，所述氯化氢气体能够与所述尾气中的硅粉发生反应生成氯硅烷气体和氢气从而减少所述尾气中硅粉的含量。