接合部件的制造方法以及接合部件制造装置

摘要

本发明提供一种接合部件的制造装置，该装置具备第1把持件(11)，用于把持第1部件(D)；第2把持件(12)，用于把持第2部件(E)；涂敷装置(40)，对第1接合面(Df)涂敷媒介物质(G)；移动装置(20)，使第1把持件(11)以及/或第2把持件(12)移动；以及控制装置。控制装置，使第1扩大平面(De)与第2扩大平面(Ee)相互平行地对置，从厚度的方向观察，第1接合面(Df)与第2接合面(Ef)重合的范围在预定的范围以下地进行配置，一边维持第1扩大平面(De)与第2扩大平面(Ee)之间的距离，一边使第1部件(D)相对第2部件(E)相对移动，以使从厚度的方向观察第1接合面(Df)与第2接合面(Ef)重合的范围逐渐变大。

主权项

一种接合部件的制造方法，用于制造结合部件，该接合部件通过失去流动性的媒介物质以预定厚度结合形成有平坦的第1接合面的第1部件和形成有平坦的第2接合面的第2部件，该制造方法包括：配置工序，配置成，使第1扩大平面与第2扩大平面相互平行地对置，并且从上述厚度的方向观察，上述第1接合面与上述第2接合面重合的范围在预定的范围以下，其中，所述第1扩大平面包含上述第1接合面以及与上述第1接合面存在于同一平面上的第1假想平面，所述第2扩大平面包括上述第2接合面以及与上述第2接合面存在于同一平面上的第2假想平面；第1涂敷工序，将具有流动性的上述媒介物质涂敷到上述第1接合面上；以及移动工序，使涂敷了上述媒介物质的上述第1部件以一边维持上述第1扩大平面与上述第2扩大平面之间的间隔且一边将上述媒介物质适当地填充到在上述第1接合面与上述第2接合面之间所形成的间隙、一边使从上述厚度的方向观察上述第1接合面与上述第2接合面重合的范围逐渐变大的方式相对于上述第2部件相对地移动，上述预定范围为在上述第1部件与上述第2部件之间所夹持的上述媒介物质中没有封入气泡的最大的重合范围，将上述媒介物质适当地填充到在上述第1接合面与上述第2接合面之间所形成的间隙，是指填充成上述第1部件与上述第2部件之间的上述媒介物质不会不足且没有混入气泡的状态。