发明名称 切削装置
摘要 一种切削装置,具备:清洗机构;切削机构,具有对卡盘台所保持的被加工物进行切削的切削刀片;切削进给机构,将卡盘台相对于切削机构在切削进给方向上进给;及具有如下清洗流体喷出喷嘴的清洗流体喷出机构,即在该切削水喷出喷嘴的该卡盘台的切削进给方向下游侧分别配设在该第1、第2壳体部件上,对被加工物的夹着切削槽的区域喷出清洗流体;切削机构具备:刀片壳体,由在轴外壳的前端部夹着切削刀片而配设在两侧、并覆盖该切削刀片的第1壳体部件和第2壳体部件构成;和切削水喷出机构,具备分别配设在第1壳体部件和第2壳体部件上、对切削刀片和卡盘台所保持的被加工物喷出切削水的切削水喷出喷嘴;该切削装置具备。
申请公布号 CN101653971B 申请公布日期 2014.12.31
申请号 CN200910160397.X 申请日期 2009.08.11
申请人 株式会社迪思科 发明人 佐藤正视;新田秀次
分类号 B28D5/02(2006.01)I;B28D7/02(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I 主分类号 B28D5/02(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 陈萍
主权项 一种切削装置,其特征在于,具备:卡盘台,保持被加工物;切削机构,具有用于对该卡盘台所保持的被加工物进行切削的切削刀片;切削进给机构,将该卡盘台相对于该切削机构在切削进给方向上相对地切削进给;以及分度进给机构,将该切削机构相对于该卡盘台在与该切削进给方向正交的分度进给方向上相对地分度进给,该切削机构具备:轴外壳,将在前端安装了该切削刀片的旋转轴支持为自由旋转;刀片壳体,由在该轴外壳的前端部夹着该切削刀片而配设在两侧、并覆盖该切削刀片的第1壳体部件和第2壳体部件构成;以及切削水喷出机构,具备切削水喷出喷嘴,该切削水喷出喷嘴分别配设在构成该刀片壳体的第1壳体部件和第2壳体部件上,对该切削刀片和该卡盘台所保持的被加工物喷出切削水,在该切削装置中具备具有清洗流体喷出喷嘴的清洗流体喷出机构,该清洗流体喷出喷嘴为,在该切削水喷出喷嘴的该卡盘台的切削进给方向下游侧,分别配设在该第1壳体部件和该第2壳体部件上,对该卡盘台所保持的被加工物的、夹着由该切削刀片切削之后不久的切削槽的区域,喷出由清洗水和高压空气构成的清洗流体,该清洗流体喷出喷嘴配设于,从该切削水喷出喷嘴的该卡盘台的切削进给方向下游侧端、到该切削刀片外周的卡盘台的切削进给方向最下游位置之间,该清洗流体喷出机构包括:清洗水供给通路,与供给清洗水的清洗水供给机构连接;高压空气供给通路,与供给高压空气的高压空气供给机构连接;混合室,将供给到该清洗水供给通路的清洗水和供给到该高压空气供给通路的高压空气混合;以及清洗流体供给通路,使由该混合室混合的清洗流体流出到该清洗流体喷出喷嘴,该清洗流体喷出机构的该清洗水供给通路、该高压空气供给通路、该混合室以及该清洗流体供给通路也分别配设在该第1壳体部件和该第2壳体部件上,该清洗水供给通路的清洗水出口及该高压空气供给通路的高压空气出口在该混合室的顶壁上开口,该清洗流体供给通路的清洗流体入口与该高压空气供给通路的该高压空气出口相对设置,该混合室的底壁形成为弯曲面,该弯曲面将流入该清洗水供给通路中的清洗水导向到该清洗流体供给通路的该清洗流体入口。
地址 日本东京都