MEMS-Bauelement mit einer auslenkbaren Membran und einem feststehenden Gegenelement sowie Verfahren zu dessen Herstellung

摘要

Zur Vereinfachung der Herstellung eines MEMS-Bauelements (100) mit einer auslenkbaren Membran (40), die eine Öffnung (12) in der Bauelementrückseite überspannt, und mit einem feststehenden Gegenelement (10), das mit Durchgangsöffnungen (11) versehen ist, wird vorgeschlagen, das Gegenelement (10) aus dem Grundsubstrat (1) des MEMS-Bauelements (100) heraus zu strukturieren und die auslenkbare Membran (40) in einem Schichtaufbau auf dem Grundsubstrat (1) zu realisieren. Durch diese Maßnahmen lassen sich auch die Membraneigenschaften verbessern und die Bauhöhe des MEMS-Bauelements verringern.